射频电源
HPSG系列射频电源是一款高精度高功率的射频信号发生器，内置ALC电路以使功率输出更精确更稳定，最大输出功率达40KW（可定制）。本产品支持扫频匹配功能，更快速地达到与负载匹配。内置过反射保护功能，过温过流保护功能，有效提高电源抗全反射能力。多种频率可选，广泛用于半导体加工领域的等离子体气相沉积，离子刻蚀，离子清洗等场合
选型列表
HPSG1356M | HPSG2712M | HPSG4068M | HPSG60M | HPSG8136M | |
频率 | 13.56MHz | 27.12MHz | 40.68MHz | 60MHz | 81.36MHz |
最大输出功率 | 40KW | 10KW | 3000W | 3000W | 3000W |
功率可调范围 | 1~40KW | 1~10KW | 1~3000W | 1~3000W | 1~3000W |
输出阻抗 | 50Ω | 50Ω | 50Ω | 50Ω | 50Ω |
信号类型 | 连续波&脉冲 | 连续波&脉冲 | 连续波&脉冲 | 连续波&脉冲 | 连续波&脉冲 |
频率稳定度 | ±50ppb | ±50ppb | ±50ppb | ±50ppb | ±50ppb |
功率稳定度 | ±0.2dB | ±0.2dB | ±0.2dB | ±0.2dB | ±0.2dB |
二次谐波 | ≤-40dBc | ≤-40dBc | ≤-40dBc | ≤-40dBc | ≤-40dBc |
反射保护开启功率 | 10KW | 3000W | 1000W | 1000W | 1000W |
工作电压 | 380V/50Hz | 380V/50Hz | 208V/50Hz | 208V/50Hz | 208V/50Hz |
工作温度 | 0~+40℃ | 0~+40℃ | 0~+40℃ | 0~+40℃ | 0~+40℃ |
相对湿度 | 0-95% | 0-95% | 0-95% | 0-95% | 0-95% |
其他保护功能 | 过温、过流保护 | 过温、过流保护 | 过温、过流保护 | 过温、过流保护 | 过温、过流保护 |
整机效率 | ≥70% | ≥70% | ≥70% | ≥70% | ≥70% |
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